極低温冷凍機

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 牧野剛博 , 松山圭佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-165908
公開番号（公開出願番号）：特開2005-003248
出願日： 2003年06月11日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】振動ガス圧による冷却ステージの振動を効果的に低減することができると共に、小型化が可能な極低温冷凍機を提供する。【解決手段】極低温冷凍機10は、冷却ステージ14上に略平行に配置されると共に、冷却ステージ14に形成されたガス流路を介して連通された2本の管からなる第1冷凍管16及び第2冷凍管18を備えている。そして、この第1冷凍管16及び第2冷凍管18の振動ガス圧にそれぞれ位相差を持たせることによって、冷却ステージ14の振動を相殺するようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

冷却ステージ上に略平行に配置されると共に、前記冷却ステージに形成されたガス流路を介して連通された2本の管からなる冷凍管を備えた極低温冷凍機において、前記冷凍管を複数備えると共に、該複数の各冷凍管の振動ガス圧にそれぞれ位相差を持たせることによって、前記冷却ステージの振動を相殺することを特徴とする極低温冷凍機。

IPC (2件)：

F25B9/00 , F25B9/14

FI (3件)：

F25B9/00 H , F25B9/00 311 , F25B9/14 530Z

引用特許：

出願人引用 (7件)

基板保持装置及び基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-015214 出願人：住友重機械工業株式会社
パルス管冷凍機及びその運転方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-189292 出願人：三菱重工業株式会社
特開昭56-066657

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審査官引用 (8件)

連動クライオポンプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-343285 出願人：三洋電機株式会社
パルス管冷凍機
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-349330 出願人：アイシン精機株式会社
基板保持装置及び基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-015214 出願人：住友重機械工業株式会社

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