固体撮像素子

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037606
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230396
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】マイクロレンズを有する固体撮像素子において、製造時の洗浄で多層反射防止層の機能が損なわれずに製造でき、また、製造されたマイクロレンズの表面反射が低下し、且つ集光性が向上したマイクロレンズを有する固体撮像素子を提供すること。【解決手段】受光部10の上方部に、受光部平坦化層16、カラーフィルタ層7、マイクロレンズ層8、反射防止層9を順次備え、該反射防止層が高屈折率層と低屈折率層を交互に積層した2層以上の多層反射防止層であること。多層反射防止層の厚みをD、マイクロレンズ層の隙間をLの時、D≧L/2であること。高屈折率層が、酸化セリウム、又は酸化セリウムと他金属酸化物の混合物であること。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子おいて、受光部の上方部に、少なくとも受光部平坦化層、カラーフィルタ層、マイクロレンズ層、反射防止層を順次備え、該反射防止層が高屈折率層と低屈折率層を交互に積層した2層以上の多層反射防止層であることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G02B 1/11 , G02B 3/00

FI (3件)：

G02B 3/00 A , H01L 27/14 D , G02B 1/10 A

Fターム (16件)：

2K009AA05 , 2K009AA06 , 2K009AA07 , 2K009AA08 , 2K009AA09 , 2K009BB01 , 2K009CC02 , 2K009DD03 , 2K009FF02 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA03 , 4M118CA40 , 4M118EA01 , 4M118GC07 , 4M118GD04

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-223371
固体撮像素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-007606 出願人：ソニー株式会社
固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-329646 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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