特許
J-GLOBAL ID：200903075947819378
光学部品の反射防止膜
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113817
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300901
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 基板の熱ダメージによる膜の密着性劣化や面精度の劣化,接合品の接着強度劣化あるいはデバイスとしての性能の劣化等を生じさせず、生産性を向上する。【構成】 真空チャンバ10の下方位置には抵抗加熱蒸発源11および電子銃蒸発源12が配設されている。13は抵抗加熱用溶融ボート、14はハースである。その上方位置には基板1を取着可能な回転ドーム15が配設されている。16は真空排気管である。
請求項（抜粋）：
光学部品の基板上に形成した多層反射防止膜であって、物理的蒸着法により形成されたMoO3 およびWO3 の内の少なくともいずれか一方を含む層を少なくとも一層含み、該反射防止膜の最表層へ撥水効果を有する層を形成したことを特徴とする光学部品の反射防止膜。
引用特許：
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