特許
J-GLOBAL ID：200903076102961694

ヒーター用部材

発明者：
齊藤 隆雄

齊藤 隆雄 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (2件)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-076945
公開番号（公開出願番号）：特開2007-257860
出願日： 2006年03月20日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：
【課題】基材およびこの基材を加熱する熱源を備えるヒーター用部材において、素早い加熱応答性を保持し、温度の均一性を向上させ、かつ耐久性を向上させる。【解決手段】ヒーター用部材1、1Aは、熱伝導率が5.0W/m・K以上の基材3、基材3を加熱する熱源2、および基材3の少なくとも一部を被覆する、熱伝導率0.5W/m・K以下のアモルファス炭素膜4、5を備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
熱源によって加熱されるべき、熱伝導率が5.0W/m・K以上の基材、および前記基材の少なくとも一部を被覆する、熱伝導率0.5W/m・K以下のアモルファス炭素膜を備えていることを特徴とする、ヒーター用部材。
IPC (6件)：
H05B 3/10 ,  C23C 16/27 ,  H05B 3/74 ,  H05B 3/68 ,  H05B 3/20 ,  H01L 21/02
FI (7件)：
H05B3/10 C ,  C23C16/27 ,  H05B3/74 ,  H05B3/68 ,  H05B3/20 356 ,  H05B3/20 357 ,  H01L21/02 Z
Fターム (30件)：
3K034BB02 ,  3K034BB06 ,  3K034BC12 ,  3K034BC29 ,  3K034FA02 ,  3K034FA12 ,  3K034HA01 ,  3K034JA01 ,  3K092PP20 ,  3K092RF03 ,  3K092RF09 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092SS02 ,  3K092SS12 ,  3K092VV15 ,  3K092VV22 ,  4K030AA07 ,  4K030AA08 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030FA03 ,  4K030JA01 ,  4K030KA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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