基板保持部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-344822
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156691
出願日： 2004年11月29日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】プラズマ発生直後からプラズマ雰囲気の熱がウェハに伝わりやすく、ウェハ温度の上昇を抑え、ウェハの表面温度が一定温度となる定常状態になるまでの時間を短縮することができる基板保持部材を提供する。【解決手段】板状基体2の一方の主面がウェハWを載せる載置面2a、他方の主面が板状の台座7の一方の主面を接合させた基板保持部材1であって、上記台座7は、上記板状基体2より熱伝導率の大きなものが用いられ、かつ、他方の主面の中央部にリング状の凹部7aが形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状基体の一方の主面がウェハを載せる載置面、他方の主面が板状の台座の一方の主面を接合させた基板保持部材であって、上記台座は、上記板状基体より熱伝導率の大きなものが用いられ、かつ、他方の主面の中央部にリング状の凹部が形成されていることを特徴とする基板保持部材。

IPC (3件)：

H01L 21/683 , H02N 13/00 , H01L 21/306

FI (4件)：

H01L21/68 N , H01L21/68 R , H02N13/00 D , H01L21/302 101G

Fターム (11件)：

5F004BB22 , 5F004BB26 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031HA38 , 5F031HA40 , 5F031PA07 , 5F045EK09 , 5F045EM05

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-3249号公報
静電チャックステージ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-215854 出願人：東陶機器株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-275482 出願人：株式会社創造科学, 有限会社宮田技研

審査官引用 (5件)

静電チャック及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-174436 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
特許第3306677号
特公平8-024117

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