特許
J-GLOBAL ID：200903076390116332

蒸着装置、および表示装置の製造システム

発明者：
渡辺 洋之

渡辺 洋之 について

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土井 徳明

土井 徳明 について

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鈴木 秀明

鈴木 秀明 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (2件)： 藤島 洋一郎 ,  三反崎 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-231101
公開番号（公開出願番号）：特開2007-046100
出願日： 2005年08月09日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：
【課題】 温度上昇を十分に抑制することができ、蒸着位置精度を向上させることができる蒸着装置、およびこの蒸着装置を備えた、表示装置の製造システムを提供する。【解決手段】 ケース110内の坩堝110Aに蒸着材料100を収容し、ケース110の周囲に熱源120を設ける。ケース110の上面に凸部111を設け、この凸部111に隣接して防熱部材130を配置する。ケース110の上面の凸部111の周囲に、凸部111から離れるにつれて低くなる第1傾斜部113を設け、防熱部材130の第1傾斜部113に対向する側に、第1傾斜部113に沿った第2傾斜部131を設ける。防熱部材130の厚みが増えて輻射熱を遮る能力が高くなり、温度上昇が十分に抑制される。また、ケース110の上面近傍に空間ができ、この空間に防熱部材130を配置することが可能となる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
蒸着材料を収容可能であり、上面に凸部を有すると共に前記凸部の周囲の領域は前記凸部の下端が側面の上端よりも高い位置にあるように形成され、前記凸部の先端に蒸着材料の蒸気を噴出させる噴出孔が設けられたケースと、 前記凸部に隣接して配置され、前記凸部に近い端部の厚みよりも前記凸部から遠い端部の厚みのほうが大きい防熱部材と を備えたことを特徴とする蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
C23C14/24 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (15件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB14 ,  4K029KA02 ,  4K029KA09
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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