特許
J-GLOBAL ID：200903076745085042
電子放出素子およびその製造方法、並びに表示装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-137695
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331597
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 容易に製造することができ、電界放出特性に優れた電子放出素子およびその製造方法、並びにこのような電子放出素子を備えた表示装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 下地基板11上に、カソード電極層12およびアルミニウム層13を形成し、アルミニウム層13上にパターンニングされたレジスト膜14を形成する。次に、カソード電極層12を陽極として電気分解を行う。このとき、レジスト膜14が形成されていない領域では蜂の巣状の孔16aを有する、所謂ハニカム構造の凹凸部16が形成される。電気分解の条件を調整することにより、凹凸部の凸部の径および隣接する凸部間の間隔を制御することができる。続いて、凹凸部16の凸部上に、選択的に電子放出部17を形成する。このようにして容易に先鋭な電子放出部17を形成することができる。得られた電界放出型カソードでは、電界集中が起こりやすくなり、低い印加電圧で電子放出部17から電子を放出させることができる。
請求項（抜粋）：
駆動電圧印加用の駆動電極層と、この駆動電極層上に形成された凹凸部と、この凹凸部の凸部上に選択的に形成された電子放出部とを備えたことを特徴とする電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/304
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 F
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH04
, 5C036EH26
