照明装置、均一照明装置、及びこれらを用いた投射装置、露光装置、レーザ加工装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-382751
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184206
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】コンパクトな構成を実現する複数光源から発せられた光を被照射面に対して均一に、また被照射面対して最小の入射角で照射するための照明光学系及びこれを用いた光学装置を提供する。【解決手段】レーザアレイ11は、そのレーザ発光部11a,11b,11c...が直線状に等ピッチで配列され、出射光B1をシリンドリカルレンズアレイ12で、少なくともその一方向について平行光束化させる(光束B2)。例えば図1の例では紙面に平行な方向で平行化させる。そしてコンデンサレンズ13によってその出射光束B3がカライドスコープ14の入射側端面14aに収斂される。カライドスコープ14では光束の面内強度の分布が均一化され、リレーレンズ15によって被照射部16へ照射される。

請求項（抜粋）：

複数の発光部を有する発光手段と、該発光部のそれぞれから出射する拡散光のそれぞれを、該拡散光の光軸に直交する面における少なくとも同一の一方向について平行光とする平行光化手段と、該平行光化手段から出射した複数の光束を所定の集光範囲に集光する集光手段とを有することを特徴とする照明装置。

IPC (14件)：

F21S 2/00 , F21V 11/00 , F21V 14/00 , B23K 26/06 , B23K 26/08 , G02B 27/00 , G02F 1/13 505 , G02F 1/13357 , G03B 21/14 , G03B 27/54 , G03F 7/20 521 , G09F 9/00 337 , H01S 5/40 , H04N 5/74

FI (12件)：

B23K 26/06 A , B23K 26/08 K , G02F 1/13 505 , G02F 1/13357 , G03B 21/14 A , G03B 27/54 Z , G03F 7/20 521 , G09F 9/00 337 Z , H01S 5/40 , H04N 5/74 Z , F21M 1/00 S , G02B 27/00 V

Fターム (58件)：

2H088EA14 , 2H088EA15 , 2H088HA13 , 2H088HA24 , 2H088HA25 , 2H088HA26 , 2H088HA28 , 2H088MA02 , 2H088MA04 , 2H091FA26Z , 2H091FA28Z , 2H091FA29Z , 2H091FA41Z , 2H091FA46Z , 2H091FA50Z , 2H091FD06 , 2H091LA17 , 2H091LA18 , 2H091MA07 , 2H109AA13 , 2H109AA29 , 2H109AA96 , 2H109DA12 , 3K042AA01 , 3K042BA09 , 3K042BC08 , 3K042BC09 , 3K042BE02 , 4E068CD01 , 4E068CD12 , 4E068CE08 , 5C058AB06 , 5C058EA05 , 5C058EA12 , 5C058EA51 , 5F073AB04 , 5F073AB27 , 5F073BA09 , 5F073EA18 , 5F073FA06 , 5G435AA01 , 5G435AA18 , 5G435BB12 , 5G435BB15 , 5G435BB17 , 5G435CC12 , 5G435DD05 , 5G435EE26 , 5G435FF06 , 5G435FF07 , 5G435FF08 , 5G435FF11 , 5G435GG02 , 5G435GG06 , 5G435GG24 , 5G435GG27 , 5G435GG28 , 5G435LL15

引用特許：

審査官引用 (7件)

レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-278191 出願人：新日本製鐵株式会社
照明装置及び照明方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-074329 出願人：ソニー株式会社
走査光学装置及びレーザビームプリンタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-171044 出願人：キヤノン株式会社

全件表示

前のページに戻る