特許
J-GLOBAL ID：200903076791237485

内部欠陥検査方法および装置

発明者：
沼田 祥平

沼田 祥平 について

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高木 太郎

高木 太郎 について

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定岡 紀行

定岡 紀行 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-313483
公開番号（公開出願番号）：特開2006-125960
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】X線CTデータのような空間離散データによる内部欠陥検査について、より高精度な検査を行えるようにする。【解決手段】空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法について、空間離散データ1から内部欠陥抽出手段2により内部欠陥を抽出するステップ、抽出された内部欠陥の周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれる要素を関連要素として関連要素収集手段3により空間離散データから収集するステップ、および関連要素収集手段で収集された関連要素に基づいて内部欠陥の大きさや重心位置などの特徴量を特徴量計測手段4で計測するステップを含むものとしている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて前記対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法において、 前記空間離散データから内部欠陥抽出手段により前記内部欠陥を抽出するステップ、前記内部欠陥抽出手段で抽出された内部欠陥の周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれる前記要素を関連要素として関連要素収集手段により前記空間離散データから収集するステップ、および前記関連要素収集手段で収集された関連要素に基づいて前記内部欠陥の大きさや重心位置などの特徴量を特徴量計測手段で計測するステップを含むことを特徴とする内部欠陥検査方法。
IPC (2件)：
G01N 23/18 ,  G01N 23/04
FI (2件)：
G01N23/18 ,  G01N23/04
Fターム (15件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001FA01 ,  2G001FA18 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA07 ,  2G001HA14 ,  2G001HA20 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001KA04 ,  2G001LA02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (12件)
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