特許
J-GLOBAL ID:200903076928765514

微小可動機構システムと微小可動機構部の制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 工藤 実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-291713
公開番号(公開出願番号):特開2003-185949
出願日: 2002年10月03日
公開日(公表日): 2003年07月03日
要約:
【要約】【課題】 制御範囲が大きい微小可動機構、そのシステム及びその制御方法を提供することにある。【解決手段】 微小可動機構システムは、ミラー面を有するミラー機構部(5)と、前記ミラー面の目標角度θrを示す目標軌道信号を生成する目標軌道生成部(2)と、前記ミラー面の現在の角度θを導出するミラー角度導出部(6)と、前記ミラー面の前記現在角度θと前記目標角度θrとの角度差Δθに基づいて制御値uを示す制御器出力信号を出力する非線形制御部(3)と、前記制御値uの1/2乗に比例する値に対応する駆動信号に基づいて、前記ミラー面が回転されるように、前記ミラー機構部を駆動するルート補正部(4)とを具備する。
請求項(抜粋):
目標変化量を示す目標軌道信号を生成する目標軌道生成部と、前記目標変化量と微小可動機構部の現在の変化量との差分に基づいて制御値uを示す制御器出力信号を出力する非線形制御器と、前記制御値uの1/2乗に比例する値に基づいて前記微小可動機構部を駆動するルート補正部とを具備する微小可動機構システム。
Fターム (5件):
2H041AA14 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ06
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (8件)
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