特許
J-GLOBAL ID：200903077113555970

基板保持装置及び電気光学装置の製造装置並びに電気光学装置の製造方法及び電気光学装置

発明者：
唐澤 和貴

唐澤 和貴 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323169
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142085
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 表示特性の良い電気光学装置を、効率良く生産することができる基板保持装置及び電気光学装置の製造装置並びに電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】 基板保持装置の基板33が吸着される吸着面21aは、枠状部43と、枠状部43内に配置された凸部40と、図示しない排気装置から排気を行うための通気孔21b ́とから構成される。吸着保持された基板33は、凸部40により、基板中央部により支持されているため、基板面内における基板のたわみがほぼ均一化され、基板はほぼ平坦な状態で保持される。この吸着保持された基板と、他の基板とを所定の間隙をもってシール材により接着する場合、吸着保持された基板はほぼ平坦なため、2枚の基板間の間隙をほぼ面内均一に保持した状態で接着することができる。
請求項（抜粋）：
基板を吸着する吸着面を有する基板保持装置において、前記吸着面は、前記基板の外縁部に対応した枠状部と、該枠状部で囲まれた領域内に配置された凸部とを具備することを特徴とする基板保持装置。
IPC (2件)：
G02F 1/1339 505 ,  G02F 1/13 101
FI (2件)：
G02F 1/1339 505 ,  G02F 1/13 101
Fターム (13件)：
2H088FA03 ,  2H088FA10 ,  2H088FA30 ,  2H088MA04 ,  2H089MA07Y ,  2H089NA24 ,  2H089NA40 ,  2H089NA44 ,  2H089NA48 ,  2H089NA60 ,  2H089QA04 ,  2H089QA14 ,  2H089TA09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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