特許
J-GLOBAL ID：200903077159849323
パルスレーザの発光タイミング信号制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-364746
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188439
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】レーザの発光タイミングと半導体露光装置側での制御タイミングとの同期精度を向上させる。【解決手段】充電電源HVと複数の磁気スイッチAL0〜AL2と複数のコンデンサC0〜C2、Cpとによって構成される複数段の電荷転送回路を有する磁気パルス圧縮回路と、この磁気パルス圧縮回路に充電電源HVを断続するスイッチング手段SWと、前記磁気パルス圧縮回路の出力端に接続されたレーザ放電電極6とを有し、半導体露光装置側より受信した所定の繰り返し周波数を有するレーザ発振同期信号をトリガとして前記スイッチング手段をオンして、所定の繰り返し周波数のパルスレーザ発振を行うパルスレーザにおいて、前記磁気パルス圧縮回路における予め設定された所定の段の電荷転送回路を流れる電流パルスの立上がり時点を検出する電流パルス検出センサ20と、この電流パルス検出センサ20の検出信号を実発光前の所定時間前に各パルスレーザ発振の発光タイミング信号Htとして前記半導体露光装置側へ出力する補償を行う電圧補償部40,温度補償部50を有する。
請求項（抜粋）：
充電電源に対し直列に接続された複数の磁気スイッチとそれぞれが前記充電電源に対し並列に接続された複数のコンデンサとによって複数段の電荷転送回路を構成し、この複数段の電荷転送回路によって電流パルスを複数段に圧縮する磁気パルス圧縮回路と、この磁気パルス圧縮回路に前記充電電源を断続するスイッチング動作を行うスイッチング手段と、前記磁気パルス圧縮回路の出力端に接続されたレーザ放電電極と、を有し、半導体露光装置側より受信した所定の繰り返し周波数を有するレーザ発振同期信号をトリガとして前記スイッチング手段をオンすることにより、所定の繰り返し周波数のパルスレーザ発振を実行するパルスレーザにおいて、前記磁気パルス圧縮回路における予め設定された所定の段の電荷転送回路を流れる電流パルスの立上がり時点を検出する電流検出手段と、前記充電電源に対する電圧指令値と前記電流検出手段が検出した時点からパルスレーザの実発光時点までの遅延時間との双曲線近似関係式を用いて、前記電圧指令値に応じた前記遅延時間から予め設定された所定時間を減算した待ち遅延時間を算出し、前記電流検出手段から出力される検出信号を該待ち遅延時間遅延した遅延信号を各パルスレーザ発振の発光タイミング信号として前記半導体露光装置側に出力する出力制御手段と、を具備したことを特徴とするパルスレーザの発光タイミング信号制御装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01S 3/104
, H01L 21/30 515 B
, H01L 21/30 518
5F046BA04
, 5F046BA05
, 5F071AA06
, 5F071GG05
, 5F071HH02
, 5F071HH09
, 5F071JJ10
