ラッピング装置およびそれを用いた研削方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大野精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098536
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288917
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】物品をより厚味の薄い物品に研削加工するラッピング装置、とりわけ磁気記録媒体用のガラス円板を研削加工するラッピング装置では、定盤に貼り付けられたペレット砥石には偏摩耗が生じ、ペレットを修正する作業頻度が多かった。【解決手段】互いに反対方向に回転する上定盤、下定盤の間に被加工物を入れたキャリアを配置し、前記上下定盤に貼り付けたペレットを用いて、前記被加工物の両面をラッピングするラッピング装置で、ペレットを定盤の半径方向に2以上の仕様に分割し、ペレットを単一の仕様で構成したときよりも、定盤の半径方向に生じる研削比の最大値と最小値の差を小さくなるようにする。

請求項（抜粋）：

上定盤と下定盤にペレットを貼り付け、前記上下定盤の間に配置したキャリア内の被加工物の両面を、前記ペレットを被加工物に押し当ててラッピングする装置において、前記ペレットを定盤半径方向で2以上の仕様に分割することにより、前記ペレットの被加工物に対する下記(1)式で示す研削比の定盤半径方向に生ずる最大値と最小値の差を、前記上下定盤に単一仕様のペレットを貼り付けたときよりも小さくなるようにしたことを特徴とするラッピング装置。研削比=(被加工物の研削体積)/(ペレット摩耗体積)・・・・・(1)

IPC (4件)：

B24B 37/04 , B24D 3/00 320 , B24D 3/00 350 , B24D 7/06

FI (4件)：

B24B 37/04 A , B24D 3/00 320 B , B24D 3/00 350 , B24D 7/06

Fターム (19件)：

3C058AA04 , 3C058AA09 , 3C058AA14 , 3C058AA18 , 3C058AB04 , 3C058AB08 , 3C058BA02 , 3C058BA09 , 3C058CA01 , 3C058CB03 , 3C058CB10 , 3C058DA06 , 3C058DA09 , 3C063AA01 , 3C063AB05 , 3C063BA03 , 3C063BB02 , 3C063BC02 , 3C063EE15

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭60-155367
平面研磨装置用定盤
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-276584 出願人：スピードファム株式会社
特開昭60-155367

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