特許

J-GLOBAL ID：200903077378585420

弾性表面波素子

発明者： 平工 達也 ,  今西 正夫 ,  金子 明 ,  鈴木 幸俊 ,  岡田 升宏
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080553
公開番号（公開出願番号）：特開2000-278085
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 電気機械結合係数K2 を大きくすることにより広帯域化と高効率化が図れ、高周波帯域でも使用可能な低コストの弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 SrTiO3 基板12上に、KNbO3 に対する格子整合性が良好なSrZrO3 、SrSnO3 の単結晶材料からなるバッファ層13、KNbO3 単結晶からなる厚さ500nm程度の圧電体層14が積層されている。そして、圧電体層14の上面にAl等の金属からなるすだれ状の入力側電極15a、出力側電極15bが形成されている。

請求項（抜粋）：

一般式SrZO3 (ただし、Z:原子価4の元素)で表されるペロブスカイト系化合物結晶が成長するようなバルク材料からなる下地基板と、該下地基板上に積層された前記ペロブスカイト系化合物結晶からなるバッファ層と、該バッファ層上に積層されたKNbO3 単結晶からなる圧電体層と、該圧電体層の上面または下面に設けられた電極層とを有することを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C

Fターム (13件)：

5J097AA06 ,  5J097AA19 ,  5J097AA33 ,  5J097BB11 ,  5J097EE08 ,  5J097FF01 ,  5J097FF02 ,  5J097HA03 ,  5J097HA07 ,  5J097KK01 ,  5J097KK04 ,  5J097KK06 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-077132   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-077131   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-084493   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 弾性表面波基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-250777   出願人：山之内和彦
• 弾性表面波コンボルバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-183907   出願人：富士電機株式会社