特許
J-GLOBAL ID：200903077506130989

キャパシタおよびその製造方法

発明者：
松橋 秀明

松橋 秀明 について


出願人/特許権者：
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-190411
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009248
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：
【要約】【課題】 耐久性および高周波特性に優れたキャパシタを提供する。【解決手段】 誘電体20を挟む一対の電極17、21の少なくとも一方が銅で構成されたキャパシタ。銅で構成された電極17、21と誘電体20との間には、該誘電体への銅の拡散を防止するための障壁18b、18cが設けられている。
請求項（抜粋）：
誘電体を挟む一対の電極の少なくとも一方が銅で構成されたキャパシタであって、前記一方の電極と前記誘電体との間には、該誘電体への銅の拡散を防止するための障壁が設けられていることを特徴とするキャパシタ。
IPC (3件)：
H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 21/3205
FI (2件)：
H01L 27/04 C ,  H01L 21/88 S
Fターム (37件)：
5F033HH11 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK11 ,  5F033KK32 ,  5F033KK33 ,  5F033MM01 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP09 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR11 ,  5F033SS11 ,  5F033TT02 ,  5F033VV10 ,  5F033XX00 ,  5F033XX28 ,  5F038AC05 ,  5F038AC09 ,  5F038AC14 ,  5F038AC15 ,  5F038AC18 ,  5F038EZ11 ,  5F038EZ20
引用特許：
審査官引用 (7件)
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