特許

J-GLOBAL ID：200903077689563200

光ファイバープローブ及びその製造方法

発明者： 物部 秀二 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-236786
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082791
出願日： 1996年09月06日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】 光の透過効率を十分に確保しながら、開口径の微小化が図れる光ファイバープローブを獲得し、そのような光ファイバープローブを用いることによって近接場光学顕微鏡技術における分解能と感度を改善する。【解決手段】 光ファイバープローブの先端部を3段階の傾斜角α,β,γで先鋭化する。このような光ファイバープローブの先端形状は、化学エッチングを用い、ファイバーを構成するコアやクラッドの溶解速度を制御することで容易に得ることができる。

請求項（抜粋）：

コアの周りにクラッドが設けられてなる光ファイバーよりなり、その一端に、傾斜角を3段階に変化させて先鋭化された先鋭部を有することを特徴とする光ファイバープローブ。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 ,  G02B 6/10

FI (3件)：

G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 Z ,  G02B 6/10 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ファイバ製プローブ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-185132   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 多重直径を有するファイバープローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-315400   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• パターン化反応イオンエッチングを用いたファイバープローブ装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-315401   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション