特許
J-GLOBAL ID：200903078052402756

走査型プローブ顕微鏡の測定方法および装置

発明者：
ゲルド・K・ビニッヒ

ゲルド・K・ビニッヒ について

, 
ウォルター ヘーベレ

ウォルター ヘーベレ について

, 
本間 昭彦

本間 昭彦 について

, 
井上 明

井上 明 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188515
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013155
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡おいて、試料をカンチレバーによって走査し高S/N比で精度よく試料表面の測定を行えるようにすること。【解決手段】 発振器9からの信号により多層ピエゾ22をカンチレバー3の共振周波数f0 で加振しておき、カンチレバー3の探針3aを試料12に接触させながら試料表面を走査する。カンチレバー3の位置検出はレバー本体3cの中程の位置で光てこ検出部2によって行う。探針3aが試料12に接触するとカンチレバー3は大きな振幅で振動し、且つ光てこ検出部2によって最も振幅の大きい部分箇所を用いてカンチレバー3のZ方向位置をフィードバック制御する。この結果、高S/N比で精度よく試料表面の形状を測定できる。
請求項（抜粋）：
試料の表面にカンチレバーをあてて該試料の表面の形状を測定する走査型プローブ顕微鏡の測定方法において、カンチレバーの自由振動の共振周波数又は、この近傍の実質的に前記共振周波数に等しい周波数で試料を加振した状態で、カンチレバーを前記試料の表面に軽く接触しながら前記試料の表面の形状を測定するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
IPC (2件)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z
Fターム (13件)：
2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069CC06 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示
引用文献：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM