特許
J-GLOBAL ID：200903078131683264
フィン形キャパシター及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-257972
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167702
出願日： 1995年10月04日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【課題】 キャパシタンスを増加させ得るフィン形キャパシター及びその製造方法を提供する。【解決手段】 導電性酸化物より構成された第1物質層112a,112b,112c及び導電体よりなる第2物質層114a,114bが交互に積層され、前記第2物質114a,114bの側面が内側にぼこっと凹んでフィン形の構造を形成した第1電極と、第2電極(不図示)及び前記第1電極と第2電極との間に形成された誘電物質118を含めて構成されてたフィン形キャパシター。
請求項（抜粋）：
導電性酸化物よりなる第1物質層及び導電体よりなる第2物質層が交互に積層され、前記第2物質層が蝕刻されてその幅が第1物質層の幅より短くなってフィン形構造を形成する第1電極と、第2電極と、前記第1電極と第2電極との間に形成された誘電物質とを含めてなることを特徴とするキャパシター。
IPC (4件)：
H01L 27/108
, H01L 21/8242
, H01L 27/04
, H01L 21/822
H01L 27/10 621 A
, H01L 27/04 C
, H01L 27/10 651
