センサ装置及びセンサ素子

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大庭咲夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-119553
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304868
出願日： 2000年04月20日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】振動子の振動を用いたセンサ素子の異常を簡単に検出する。【解決手段】電極部51-1〜4は、電極部52-1〜4と協働して、振動子20をX軸方向に一定振幅で振動させる。電極部53-1〜4は、振動子20のY軸方向の振動を検出することにより、Z軸回りに作用する角速度を検出する。各電極部52-1〜4,53-1〜4には異なる周波数の高周波信号がそれぞれ印加されていて、出力回路70にて各電極部52-1〜4,53-1〜4からの信号を復調することにより、振動子20のX軸及びY軸方向の振動を検出する。前記復調したX軸方向の振動を表す信号のレベルに基づいてセンサ素子の異常を判定する。電極部51-1〜4に電気的に並列接続された固定容量のダミー電極部54-1,2を基板10上に設けて、センサ素子の異常検出に利用される電極部51-1〜4の見かけ上の静電容量を大きくする。

請求項（抜粋）：

基板上に変位可能に支持された振動子と、前記基板に固定された第1固定電極指と、前記第1固定電極指に対向するとともに前記振動子と一体的に変位する可動電極指とからなり、前記振動子の前記基板に対する変位に応じて変化する静電容量を検出する検出電極部と、前記検出電極部に高周波信号を入力する高周波信号入力手段と、前記検出電極部から出力される高周波信号を復調して前記振動子の変位を検出する復調手段とを備えたセンサ装置において、前記復調手段により復調された信号のレベルに基づいて異常を判定する異常判定手段を設けたことを特徴とするセンサ装置。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/125 , H01L 29/84

FI (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/125 , H01L 29/84 Z

Fターム (13件)：

2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA31 , 4M112EA02 , 4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-159877
特開平4-215017
角速度センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-003117 出願人：松下電器産業株式会社

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