特許
J-GLOBAL ID：200903031793448005

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者：
谷津 修

谷津 修 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-255636
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085293
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 開口絞りにおける光量損失を良好に抑えつつ輪帯照明や4極照明のような変形照明を行うことのできる照明光学装置。【解決手段】 光源手段(1)からの光束を複数の角度成分を有する光束に変換する角度光束形成手段(4,5)と、この光束に基づいてたとえば輪帯状の光強度分布を形成する光束形状変換手段(6,7)と、この光束を受けて同じく輪帯状の光強度分布の二次光源を形成するオプティカルインテグレータ(8)と、オプティカルインテグレータからの光束をマスク(11)へ導くための導光光学系(10)とを備えている。
請求項（抜粋）：
所定のパターンを有するマスクを照明するための照明光学装置において、光束を供給するための光源手段と、前記光源手段からの光束を、基準光軸に対して複数の角度成分を有する光束に変換して、第1の所定面へ入射させる角度光束形成手段と、前記第1の所定面を介した前記複数の角度成分を有する光束に基づいて、前記基準光軸を含む領域または前記基準光軸の近傍の領域では弱く且つ前記基準光軸から離れた外周部では強くなるような光強度分布を第2の所定面上に形成するための光束形状変換手段と、前記第2の所定面を経た前記光束を受けて、前記光強度分布と同傾向を有する光強度分布の二次光源を形成するオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータからの光束を前記マスクへ導くための導光光学系と、を備えていることを特徴とする照明光学装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/20 521
FI (4件)：
H01L 21/30 515 D ,  G02B 3/00 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 B
Fターム (2件)：
5F046CB05 ,  5F046CB13
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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