特許

J-GLOBAL ID：200903079055219797

導電性ボールの移載装置および移載方法

発明者： 有門 一雄 ,  野田 和宏
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-107560
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291951
出願日： 2000年04月10日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】 移載時に位置ずれを生じることなく安定して導電性ボールを移載することができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供すること。【解決手段】 導電性ボール5を真空吸着によりピックアップしてワーク4に移載する導電性ボール5の移載方法において、吸着ヘッド31の吸着孔32に保持された導電性ボール5を吸引孔32aから正圧を付与して電極4a上に移行させる際に、導電性ボール5が吸着状態から離脱して下降する導電性ボール5を吸着孔32に形成された内周部32cによってガイドする。これにより、ワーク4の上面に高さ差ΔHが存在する場合にあっても、ボール移載時の導電性ボール5の水平方向の位置ずれを防止することができる。

請求項（抜粋）：

ボール供給部から導電性ボールを真空吸着により保持して位置決め部に位置決めされたワークに移載する導電性ボールの移載装置であって、導電性ボールを真空吸着により保持する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを位置決め部とボール供給部とに対して相対的に水平移動させる移動手段と、吸着ヘッドを位置決め部とボール供給部とに対して相対的に上下動させる上下動手段と、吸着ヘッド内を真空吸引する真空吸引手段と、吸着ヘッド内に正圧を付与する正圧付与手段とを備え、前記吸着ヘッドに設けられ導電性ボールを真空吸着する吸着孔に、導電性ボールのワーク上面への着地動作において吸着状態から離脱して下降しワーク上面へ移行する導電性ボールをガイドするガイド部が形成されていることを特徴とする導電性ボールの移載装置。

IPC (3件)：

H05K 3/34 505 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60

FI (3件)：

H05K 3/34 505 A ,  H01L 21/60 311 S ,  H01L 21/92 604 H

Fターム (4件)：

5E319BB04 ,  5E319CD27 ,  5F044KK19 ,  5F044QQ04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 導電性ボールの搭載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-000070   出願人：松下電器産業株式会社
• はんだ転写方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-166876   出願人：株式会社日立製作所
• 導電性ボールの移載装置および移載方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-207408   出願人：松下電器産業株式会社
• 半田ボールの搭載方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-112895   出願人：松下電器産業株式会社