電子ビーム装置および環境制御型走査電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-349447
公開番号（公開出願番号）：特開平11-185682
出願日： 1997年12月18日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、光学的に試料を観察する機構を有する電子ビーム装置において、特に、光学的観察の際の観察視野を広くすることができる電子ビーム装置を提供することを目的とする。【解決手段】電子ビームを試料面上に照射するビーム照射手段11と、電子ビームが通過する開口を有する開口部材19、20と、試料面上を観察する光学観察手段30〜36とを備えた電子ビーム装置において、開口部材は、開口の周辺部に、光を透過する透光部を有し、透光部の少なくとも一部は、光学観察手段の光束の光路中に位置することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料面上に照射するビーム照射手段と、前記電子ビームが通過する開口を有する開口部材と、前記試料面上を光学的に観察する光学観察手段とを備えた電子ビーム装置において、前記開口部材は、前記開口の周辺に、光を透過する透光部を有し、前記透光部の少なくとも一部は、前記光学観察手段の光束の光路中に位置することを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (4件)：

H01J 37/09 , H01J 37/22 502 , H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (4件)：

H01J 37/09 A , H01J 37/22 502 L , H01J 37/244 , H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-282846 出願人：株式会社ニコン
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-205940 出願人：日本電子株式会社
集束イオンビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-188458 出願人：株式会社島津製作所

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