特許
J-GLOBAL ID：200903079151245766
センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-202472
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014519
出願日： 2001年07月03日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 基板の空洞部上に設けられた薄膜構造部が変形したときに、薄膜構造部を支持する支え部を有するフローセンサにおいて、薄膜構造部と支え部とのスティッキングを極力抑制する【解決手段】 フローセンサS1は、一面から他面へと貫通する空洞部1aを有する基板1と、基板1の一面上に設けられた犠牲層2と、基板1の一面上にて犠牲層2を介して空洞部1a上に設けられた薄膜構造部10とを備えており、薄膜構造部10の端部において、基板1と薄膜構造部10との間には、空洞部1aと連通する隙間部11が形成され、この隙間部11を介して基板1に支え部1bが形成されており、隙間部11の大きさは犠牲層2の厚さよりも大きくなっている。
請求項（抜粋）：
一面から他面へと貫通する空洞部(1a)を有する基板(1)と、前記基板の一面上に設けられた犠牲層(2)と、前記基板の一面上にて前記犠牲層を介して前記空洞部上に設けられた薄膜構造部(10)とを備え、前記薄膜構造部の端部において、前記基板と前記薄膜構造部との間には、前記空洞部と連通する隙間部(11)が形成されており、この隙間部の大きさは前記犠牲層の厚さよりも大きくなっていることを特徴とするセンサ。
FI (3件)：
G01F 1/68 104 A
, G01F 1/68 104 B
, G01F 1/68 104 C
