特許
J-GLOBAL ID：200903079284636954

集束荷電粒子線装置及びその制御方法

発明者：
永井 孝一

永井 孝一 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198059
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023559
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 高倍率においても精細な画像を得ることを可能とし、正確な出力データ(例えばSEM画像)を得ることを可能とする。【解決手段】 制御手段3により、試料面を走査してSEM画像を形成するための複数のフレーム情報を得るに際して、隣接する照射スポット間で重畳部位が生じる場合には当該複数のフレーム情報を実倍率で得られる第1のフレーム情報と前記実倍率に比して低倍率で得られる第2のフレーム情報とから構成し、重畳部位が生じない場合には当該フレーム情報を第1のフレーム情報から構成して、第1のフレーム情報のみを画像メモリ4に記憶する。そして、第1のフレーム情報のみからSEM画像を形成してディスプレイ5に表示する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を試料面の所定走査範囲に照射し、得られた複数の走査情報から出力データを形成する集束荷電粒子線装置であって、前記複数の走査情報を、所要の実走査範囲で得られる第1の走査情報と、前記実走査範囲に比して広い走査範囲で得られる第2の走査情報とを任意の順序で組み合わせることにより構成し、前記第1の走査情報のみから前記出力データを形成することを特徴とする集束荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/147 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/22 502
FI (3件)：
H01J 37/147 B ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/22 502 B
Fターム (4件)：
2H052AA07 ,  2H052AF10 ,  2H052AF25 ,  5C033FF04
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 走査電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-262528   出願人：株式会社日立製作所
  • 荷電粒子描画装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271558   出願人：日本電気株式会社
  • 電子ビームによる画像取得装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-323976   出願人：日本電気株式会社
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審査官引用 (4件)
  • 走査電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-262528   出願人：株式会社日立製作所
  • 荷電粒子描画装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271558   出願人：日本電気株式会社
  • 電子ビームによる画像取得装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-323976   出願人：日本電気株式会社
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