ガラス基板の搬送用ロボット

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-040709
公開番号（公開出願番号）：特開2005-230941
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：

【課題】ガラス基板の上面を確実に吸着しつつ安定した搬送を可能とする吸着機構を備えた搬送用ロボットを提供すること。【解決手段】ガラス基板3を吸着する吸着機構を備えたガラス基板3の搬送用ロボット1において、吸着機構として、ガラス基板3の上面を吸着するための上面吸着機構13をハンドフォーク4の下面側に有している。上面吸着機構は13、上面吸着パッド18と、上面吸着パッド18の上下動を可能にするフローティング機構部19とを備えている。フローティング機構部19は、上面吸着パッド18が連結されたピストン部材20と、ピストン部材20を保持するとともにピストン部材20を上下方向に案内するためのシリンダ部材21と、シリンダ部材21に対してピストン部材20を下方向へ付勢する付勢部材22とを備え、上下方向及び径方向に安定した状態でのガラス基板3の搬送を可能にする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ガラス基板を保持するハンドと、前記ガラス基板を吸着するため前記ハンドを構成するハンドフォークに設けられた吸着機構とを備えたガラス基板の搬送用ロボットにおいて、前記吸着機構として、前記ガラス基板の上面を吸着するための上面吸着機構を前記ハンドフォークの下面側に有し、該上面吸着機構は、前記ガラス基板を吸着する上面吸着パッドと、前記ハンドフォークに対する前記上面吸着パッドの上下動を可能にするフローティング機構部とを備え、該フローティング機構部は、前記上面吸着パッドが連結されたピストン部材と、該ピストン部材を保持するとともに該ピストン部材を上下方向に案内するため前記ハンドフォークに固定されたシリンダ部材と、該シリンダ部材に対して前記ピストン部材を下方向へ付勢する付勢部材とを備えることを特徴とする搬送用ロボット。

IPC (3件)：

B25J15/06 , B65G49/06 , H01L21/68

FI (4件)：

B25J15/06 H , B25J15/06 M , B65G49/06 A , H01L21/68 B

Fターム (26件)：

3C007AS01 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007BS26 , 3C007CT04 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007DS02 , 3C007DS05 , 3C007FS01 , 3C007FT02 , 3C007FT13 , 3C007FT17 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA08 , 5F031GA32 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031LA13 , 5F031LA15 , 5F031PA13 , 5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (2件)

国際公開第01/010608号パンフレット
ロボットハンド
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-362753 出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (4件)

搬送装置における吸着ハンド
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-176247 出願人：株式会社メックス
特開平4-087788
基板保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-291990 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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