特許
J-GLOBAL ID：200903079290240639
レーザ励起超音波画像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西村 竜平
, 佐藤 明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-093797
公開番号（公開出願番号）：特開2007-271288
出願日： 2006年03月30日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】非破壊・非接触で、検査対象内部の欠陥検査や構造解析を、空間解像度がナノメータオーダでも行えるといったレーザ励起超音波画像装置を提供する。【解決手段】検査対象Pに対して超音波励起用レーザL1を放射し、その内部等を伝播する超音波を励起させる超音波励起用レーザ放射部1と、超音波が検査対象P内部の欠陥などに起因して発生する超音波エコーを検出するための参照光L2を放射する参照光放射部2と、参照光L2が検査対象Pに反射又は散乱した際に、その表面で参照光L2と超音波エコーとの相互作用によって生じた光強度又は光周波数の変化等を含む反射光または散乱光L3を受光し、この反射光または散乱光L3によって電子を放出する光電面4と、光電面4から放出された電子の軌道を掃引するための対を成す掃引電極51を備えた掃引部5と、掃引部5で掃引された電子を光変換する蛍光面7と、蛍光面7に現れる輝点を画像化して出力する画像出力部8とを具備して成るようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象に対してパルスレーザを放射し、前記検査対象の表面または内部を伝播する超音波を励起させる超音波励起用レーザ放射部と、
前記超音波が前記検査対象内部の欠陥或いは内部構造などに起因して発生する超音波エコーを検出するための参照光を放射する参照光放射部と、
前記参照光が検査対象に反射又は散乱した際に、その表面で前記参照光と前記超音波エコーとの相互作用によって生じた光強度又は光周波数の変化等を含む反射光または散乱光を受光し、この反射光または散乱光によって電子を放出する光電面と、
前記光電面から放出された電子の軌道を掃引するための対を成す掃引電極を備えた掃引部と、
前記掃引部で掃引された電子を光変換する蛍光面と、
前記蛍光面に現れる輝点を画像化して出力する画像出力部とを具備して成ることを特徴とするレーザ励起超音波画像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N29/00 501
, G01N29/22 502
2G047BC07
, 2G047CA04
, 2G047GD00
, 2G047GG21
, 2G047GH04
, 2G047GH07
出願人引用 (2件)
審査官引用 (9件)
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