特許
J-GLOBAL ID：200903079459412868
クリーンボックス開閉装置を備えるクリーン装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 産形 和央
, 臼井 伸一
, 藤野 育男
, 越智 隆夫
, 本宮 照久
, 高梨 憲通
, 朝日 伸光
, 高橋 誠一郎
, 吉澤 弘司
, 松井 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-137026
公開番号（公開出願番号）：特開2004-342800
出願日： 2003年05月15日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】クリーンボックスの本体から蓋を分離して基板の取り出しを容易に確実に行うことのできるクリーン装置を提供する。【解決手段】クリーンボックスの蓋は非円形の受容孔を備え、クリーン装置のロードポート10部が該受容孔に嵌入可能な突起を備える開閉機構32と、バッファーチャンバ6とを有し、バッファーチャンバ6のベローズの一端31aは該バッファーチャンバ6の底面と連結し、該ベローズの他端31bは該バッファーチャンバ6の外側においてポートドア3の昇降手段4に対して固定されているクリーン装置により解決する。【選択図】 図1a
請求項（抜粋）：
蓋と本体とを有し内部が高清浄度に保たれ該内部に基板が保管されたクリーンボックスから該基板を受け取って基板を処理するために外部の環境よりも内部の環境が高清浄度に保たれたクリーン装置であって、
該クリーン装置は該クリーンボックスを載置して該蓋を該本体から分離または該本体に結合するために回動可能なラッチピンを有する開閉機構を備えたロードポート部を備え、
該クリーンボックスの蓋は、該ラッチピンと係合可能であって該ラッチピンの回動に応じて作動するカム板と、前記カム板の作動に応じて蓋の外に突出して該クリーンボックスの本体のラッチ孔に係合しまたは蓋の中に収まることで該クリーンボックスの本体のラッチ孔から抜けるラッチ部材とを有し、
該クリーンボックスの蓋はさらに非円形の受容孔を備え、
該開閉機構はさらに該受容孔に嵌入可能な突起を備え、
該クリーンボックスが該ロードポートに載置された際に該ラッチピンが該カム板と係合可能な状態になるとともに該開閉機構の突起が該クリーンボックスの蓋に嵌入され、
前記ラッチピンの回動に応じて突起と該受容孔とが係合可能となることを特徴とするクリーン装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031JA10
, 5F031JA47
, 5F031NA02
, 5F031NA10
