特許

J-GLOBAL ID：200903079471152693

カーボンナノチューブの製造装置及びその製造方法

発明者： 湯田坂 雅子 ,  飯島 澄男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 宮越 典明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352833
公開番号（公開出願番号）：特開平11-180707
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】【課題】 レーザーアブレーション法において、ペレット表面にレーザーを照射している間にペレット表面における触媒金属と炭素との混合比、混合状態が変化してしまうという問題点を解決することによって、均一性の高いカーボンナノチューブを製造しようとするものである。【解決手段】 レーザーアブレーション法によりカーボンナノチューブを製造する装置において、レーザーターゲットとして、炭素ペレット2と触媒金属ペレット3とに分離して使用し、それぞれの個別ペレットに別々にレーザー光4を照射することを特徴とするものである。このことにより、時間が経過しても、炭素ペレット及び触媒金属ペレットから発生する炭素蒸気あるいはクラスターと、金属蒸気あるいはクラスターの混合比、混合状態は一定となり、安定的に所定の単層カーボンナノチューブを生成することができる。

請求項（抜粋）：

レーザーアブレーション法によりカーボンナノチューブを製造する装置において、レーザーターゲットとしてのペレットが、炭素ペレットと触媒金属ペレットとに分離されていることを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置。

IPC (2件)：

C01B 31/02 101 ,  D01F 9/127

FI (2件)：

C01B 31/02 101 F ,  D01F 9/127