特許

J-GLOBAL ID：200903079559588858

絶縁膜用ワニスおよび絶縁膜

発明者： 多田 昌弘 ,  村山 三素
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-112487
公開番号（公開出願番号）：特開2005-139424
出願日： 2004年04月06日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】 電気特性、熱特性、機械特性および物理特性に優れ、特に誘電率が低く耐熱性に優れた絶縁膜用ワニスおよび絶縁膜を提供する。【解決手段】 嵩高い構造を有するビスアミノフェノール化合物と、ジカルボン酸化合物とを反応させて得られる、ポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体を主構造とする重合体、(B)前記成分(A)を溶解もしくは分散することが可能である有機溶剤、からなることを特徴とする、絶縁膜用ワニス。前記絶縁膜用ワニスを用いて得られた有機絶縁膜であって、脱水縮合反応を経て調製された、ポリベンゾオキサゾール樹脂を主構造とする樹脂層からなることを特徴とする絶縁膜。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(1)で表されるジアミノフェノール化合物と、一般式(4)で表されるジカルボン酸化合物とを反応させることにより得ることができるポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体を主構造とする重合体、 および(B)前記成分(A)を溶解もしくは分散することが可能である有機溶剤、 を含むことを特徴とする、絶縁膜用ワニス。

IPC (3件)：

C08G73/22 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768

FI (3件)：

C08G73/22 ,  H01L21/312 A ,  H01L21/90 S

Fターム (34件)：

4J043PA04 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA12 ,  4J043TA42 ,  4J043TA71 ,  4J043TB01 ,  4J043UA04 ,  4J043UA11 ,  4J043UA13 ,  4J043UA14 ,  4J043UA15 ,  4J043UA21 ,  4J043UB01 ,  4J043UB31 ,  4J043XA04 ,  4J043XA19 ,  4J043ZB01 ,  4J043ZB02 ,  4J043ZB03 ,  5F033RR21 ,  5F033SS22 ,  5F033XX00 ,  5F033XX14 ,  5F033XX24 ,  5F058AA04 ,  5F058AA08 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AH02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ポリベンゾオキサゾール前駆体及び樹脂
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-306727   出願人：住友ベークライト株式会社

審査官引用 (5件)

• 有機絶縁膜用材料及び有機絶縁膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-195833   出願人：住友ベークライト株式会社
• 耐熱性樹脂前駆体、耐熱性樹脂及び絶縁膜並びに半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-401349   出願人：住友ベークライト株式会社
• 絶縁膜用樹脂組成物及びこれを用いた絶縁膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-262440   出願人：住友ベークライト株式会社
• 絶縁膜用樹脂組成物及びこれを用いた絶縁膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-331231   出願人：住友ベークライト株式会社
• 有機絶縁膜用材料及び有機絶縁膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-298562   出願人：住友ベークライト株式会社