特許
J-GLOBAL ID：200903085372167360

有機絶縁膜用材料及び有機絶縁膜

発明者：
長谷 陽子

長谷 陽子 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-298562
公開番号（公開出願番号）：特開2003-105085
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】 電気特性、熱特性、機械特性および物理特性に優れ、特に誘電率が低く耐熱性に優れた有機絶縁膜用材料および有機絶縁膜を提供する。【解決手段】 嵩高い構造を有するビスアミノフェノール化合物と、ジカルボン酸化合物とを反応させて得られる、一般式(7)で表されるポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体を主構造とする有機絶縁膜用材料を、さらに脱水縮合反応させて有機絶縁膜とする。【化7】
請求項（抜粋）：
一般式(1)で表されるジアミノフェノール化合物と、一般式(4)で表されるジカルボン酸化合物と反応させることにより得られる、一般式(7)で表されるポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体を主構造とする、重合体からなることを特徴とする有機絶縁膜用材料。【化1】式中、Xは式(2)で表される基の中から選ばれた1つの四価の基を示す。【化2】式中、X1は式(3)で表される基の中から選ばれる二価の基を示し、これら式(2)及び式(3)で表される基のベンゼン環上の水素原子のうち少なくとも1個は、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、フェニル基、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、アダマンチル基、およびシクロヘキシル基の中から選ばれる、一価の有機基で置換されている。【化3】【化4】式中、Yは式(5)または式(6)で表される基の中から選ばれた1つの二価の基を示す。【化5】式(5)で表される基のベンゼン環上の水素原子は、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、フェニル基、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、アダマンチル基からなる群から選ばれる、一価の有機基で置換されていてもよい。【化6】式(6)で表される基の炭素環上の水素原子は、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、フェニル基、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基からなる群から選ばれる、一価の有機基で置換されていてもよい。【化7】式中、nは2〜1000の整数で、Xは式(2)で表される基の中から、Yは式(5)または式(6)で表される基の中から、それぞれ選ばれた1つの基を示す。
IPC (2件)：
C08G 73/22 ,  H01L 21/312
FI (2件)：
C08G 73/22 ,  H01L 21/312 A
Fターム (36件)：
4J043PA02 ,  4J043PC016 ,  4J043PC196 ,  4J043PC206 ,  4J043QB34 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA11 ,  4J043TB01 ,  4J043UA082 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB021 ,  4J043UB121 ,  4J043UB131 ,  4J043UB151 ,  4J043UB301 ,  4J043VA011 ,  4J043VA051 ,  4J043VA091 ,  4J043XA13 ,  4J043XA19 ,  4J043XB19 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA43 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB47 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM