特許
J-GLOBAL ID：200903079669508809

静電チャック

発明者：
石田 弘徳

石田 弘徳 について

, 
石井 守

石井 守 について

, 
塩貝 達也

塩貝 達也 について


出願人/特許権者：
太平洋セメント株式会社

太平洋セメント株式会社 について


代理人 (1件)： 宇高 克己 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-266905
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077995
出願日： 2001年09月04日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：
【要約】【課題】 絶縁層の厚さが小さくとも、不具合が起き難い静電チャックを提供することである。特に、絶縁層厚さが0.1〜4.0mmであっても、絶縁層の剥離などの不具合が起き難い静電チャックを提供することである。【解決手段】 窒化アルミニウムを含む焼結体から構成されたチャック本体1と、このチャック本体1に埋設された電極2とを具備し、チャック本体1が、電極2を挟んで互いに対向する基層11および厚さが0.1〜4.0mmの絶縁層12を備えてなる静電チャックを、上記電極2が平板状のパンチングメタルから構成されてなる構造とする。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムを含む焼結体から構成されたチャック本体と、このチャック本体に埋設された電極とを具備し、前記チャック本体が、前記電極を挟んで互いに対向する基層および厚さが0.1〜4.0mmの絶縁層を備えてなる静電チャックであって、前記電極は、平板状のパンチングメタルから構成されたものであることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/3065
FI (2件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/302 B
Fターム (13件)：
5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031CA09 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA18 ,  5F031HA37 ,  5F031MA30 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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