特許
J-GLOBAL ID:200903079732875809

薄膜太陽電池およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-024906
公開番号(公開出願番号):特開平11-224956
出願日: 1998年02月05日
公開日(公表日): 1999年08月17日
要約:
【要約】【課題】 薄膜太陽電池を構成する各膜を分割する際の熱による盛り上がりや溶融だれ、さらには膜質の劣化を、膜分割のために照射するレーザの波長を適切なものとすることにより抑制する。さらには、この方法を利用し、発電効率の観点から優れた構造を有する薄膜太陽電池を提供する。【解決手段】 絶縁性基板1上に形成した、金属膜2、半導体接合層3および窓層4を有する半導体膜、ならびに透明導電膜5を、それぞれNd:YAGレーザの高調波であるレーザビームL1、L2およびL3を照射することにより分割する。各膜の分割部分は互いに重なり合わないように順にずらして配置される。
請求項(抜粋):
絶縁性基板と、前記絶縁性基板上に短冊状に分割されて形成された金属膜と、半導体接合層および窓層を有する、前記金属膜上に短冊状に分割されて形成された半導体膜と、前記半導体膜上に短冊状に分割されて形成された透明導電膜とを備え、前記短冊状の金属膜、半導体膜および透明導電膜により、膜厚方向に太陽電池ユニットが構成され、前記金属膜と前記透明導電膜とが、前記半導体膜の分割部分を通じて接触することにより、前記太陽電池ユニットとこの太陽電池ユニットに隣接する太陽電池ユニットとが直列接続している薄膜太陽電池であって、前記半導体膜の分割部分が、前記透明導電膜の分割部分と前記金属膜の分割部分との間において、前記両分割部分と重ならないように形成されていることを特徴とする薄膜太陽電池。
IPC (2件):
H01L 31/042 ,  H01L 31/04
FI (2件):
H01L 31/04 C ,  H01L 31/04 E
引用特許:
審査官引用 (6件)
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