マイクロ部品用金型およびその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , , , , ,
代理人 (1件)：石川泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-213140
公開番号（公開出願番号）：特開2003-025335
出願日： 2001年07月13日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】製造コストが安価で且つ高い精度を有し、しかも表面の硬度が高いことから繰り返し使用や押出し成形等の高精度加工に耐え得るマイクロ部品用金型およびその製造方法を提供する。【解決手段】 Si基板の表面を加工することによってマイクロ部品用金型の原型6を調製し、次いで、原型6の表面にTiN膜5からなる硬質皮膜を形成し、そして、超塑性を有する、例えば、Ti-4.5Al-3V-2Fe-2Mo合金に、TiN膜5を介して原型6を転写する。

請求項（抜粋）：

表面に硬質皮膜が形成された、超塑性金属からなることを特徴とするマイクロ部品用金型。

IPC (7件)：

B29C 33/38 , C22C 14/00 , C23C 14/06 , C23C 30/00 , G02B 3/00 , B29L 11:00 , C22K 3:00

FI (8件)：

B29C 33/38 , C22C 14/00 Z , C23C 14/06 A , C23C 30/00 C , G02B 3/00 A , G02B 3/00 Z , B29L 11:00 , C22K 3:00

Fターム (20件)：

4F202AH75 , 4F202AJ02 , 4F202AJ07 , 4F202AJ09 , 4F202CA11 , 4F202CB01 , 4F202CD03 , 4F202CD24 , 4K029AA02 , 4K029AA06 , 4K029AA29 , 4K029BA44 , 4K029BA60 , 4K029BD05 , 4K029CA05 , 4K044AA06 , 4K044BA12 , 4K044BA18 , 4K044CA13 , 4K044CA14

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭55-100114
マイクロ部品用金型およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-203689 出願人：日本鋼管株式会社, 三原豊, 橋口原, 大平文和, 吉村英徳, 株式会社アドバネクス
特開昭55-044836

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審査官引用 (9件)

特開昭55-100114
マイクロ部品用金型およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-203689 出願人：日本鋼管株式会社, 三原豊, 橋口原, 大平文和, 吉村英徳, 株式会社アドバネクス
特開昭55-044836

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