特許
J-GLOBAL ID：200903080103864479
マイクロ部品用金型およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203689
公開番号（公開出願番号）：特開2003-013160
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 製造コストが安価で且つ高い精度を有するマイクロ部品用金型およびその製造方法を提供する。【解決手段】 Si基板の表面をフォトリソグラフィー法およびドライエッチング法等により加工することによって、マイクロ部品用金型の原型5を調製し、そして、超塑性を有するチタン合金7に原型5を転写する。
請求項（抜粋）：
超塑性を有する金属からなることを特徴とするマイクロ部品用金型。
IPC (3件)：
C22C 14/00
, B81C 1/00
, B81C 5/00
C22C 14/00 Z
, B81C 1/00
, B81C 5/00
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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