特許
J-GLOBAL ID：200903079919093146
微細構造体の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西 和哉
, 志賀 正武
, 大浪 一徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-306721
公開番号（公開出願番号）：特開2009-175707
出願日： 2008年12月01日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：
【課題】凹凸構造とこの上に重畳された微小な凸部を有する微細構造体を良好に製造し得る製造技術を提供すること。【解決手段】(a)一面側に複数の凸部を有する基板上に当該複数の凸部を覆う感光膜を形成し、(b)感光膜上に液体を配置し、(c)液体を挟んで、透明な平行平板を基板と対向配置し、(d)レーザービームを用いて干渉光を発生させ、当該干渉光を平行平板及び液体を介して感光膜に照射し、(e)液体及び平行平板を排した後に、感光膜を現像し、(f)感光膜を現像して得られた感光膜パターンをマスクとして用いて基板をエッチングし、(g)感光膜パターンを除去すること、を含み、上記(b)における液体の屈折率が、1より大きく感光膜の屈折率と同等かそれより低い値である、微細構造体の製造方法である。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
少なくとも一面に複数の凸部を有する基板と、当該基板の一面に設けられた、前記複数の凸部の各々よりも小さい複数の微小凸部と、を備える微細構造体の製造方法であって、(a)前記基板上に前記複数の凸部を覆う感光膜を形成すること、
(b)前記基板上に前記感光膜を覆う液体を配置すること、
(c)前記液体を挟んで、透明な平行平板を前記基板と対向配置すること、
(d)レーザービームを用いて干渉光を発生させ、当該干渉光を前記平行平板及び前記液体を介して前記感光膜に照射すること、
(e)前記液体及び前記平行平板を排した後に、前記感光膜を現像すること、
(f)前記(e)によって形成された感光膜パターンをマスクとして用いて、前記基板をエッチングすること、
を含み、
前記(b)における前記液体の屈折率が、1より大きく前記感光膜の屈折率と同等かそれより低い値である、
微細構造体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2H249AA03
, 2H249AA13
, 2H249AA34
, 2H249AA37
, 2H249AA48
, 2H249AA64
, 2H249AA66
, 2K009AA01
, 2K009DD15
出願人引用 (1件)
審査官引用 (11件)
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