特許
J-GLOBAL ID：200903079944229079

ウェハ位置教示方法および教示治具装置

発明者：
足立 勝

足立 勝 について

, 
川辺 満徳

川辺 満徳 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-122511
公開番号（公開出願番号）：特開2005-310858
出願日： 2004年04月19日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 処理装置の間口の狭い場合でも、干渉させることなくウェハ位置を精度良く自動的に教示する方法およびその外部教示治具を提供する。【解決手段】 本発明のウェハ搬送装置のウェハ位置教示方法は、収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに、収納容器あるいは処理装置の半導体ウェハを設置する位置に教示治具16を設置し、ロボットのウェハ把持部に設けたセンサで教示治具を検出することにより、ロボットに半導体ウェハの位置を教示するもので、教示治具16をセンサでセンシングする前に、処理装置の前面外壁に設置した外部教示治具17をセンサでセンシングにてセンシングを行い教示治具の位置をラフに推定し、その推定位置に基づいてセンサで教示治具にアプローチし、センシングして半導体ウェハの位置を求めるものである。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに、前記収納容器あるいは前記処理装置の半導体ウェハを設置する位置に教示治具を設置し、前記ロボットのウェハ把持部に設けたセンサで前記教示治具を検出することにより、前記ロボットに前記半導体ウェハの位置を教示するウェハ位置教示方法において、 前記教示治具を前記センサでセンシングする前に、前記処理装置の前面外壁に設置した外部教示治具を前記センサにてセンシングを行い前記教示治具の位置をラフに推定し、その推定位置に基づいて前記センサで前記教示治具にアプローチし、センシングして前記半導体ウェハの位置を求めることを特徴とするウェハ位置教示方法。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  B25J9/22 ,  B65G49/07
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  B25J9/22 A ,  B65G49/07 C
Fターム (28件)：
3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007JU09 ,  3C007KS05 ,  3C007KV12 ,  3C007KX08 ,  3C007LS06 ,  3C007LS15 ,  3C007NS09 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA10 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA49 ,  5F031JA05 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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