化学物質の検出装置および化学物質の濃度測定方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-367141
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170517
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】飛行時間型質量分析法による化学物質の検出装置において、基準時間からずれて飛行時間型質量分析装置に入るイオンを抑制して飛行時間計測のノイズを低減し、検出感度を向上すること。【解決手段】質量分析装置6での飛行時間計測に同期して、サンプルガスのイオン化を、ランプ放電制御電源9のオフによって停止する。

請求項（抜粋）：

サンプルガスをイオン化するためのイオン化源と、高周波電界を内部に生成させてイオン化されたサンプルガスを蓄積するトラップ手段と、前記トラップ手段に蓄積されたサンプルガスを加速して加速された物質の飛行時間を計測する質量分析手段と、前記質量分析手段による飛行時間計測のタイミングに同期して前記サンプルガスのイオン化を停止するイオン化停止手段と、を有していることを特徴とする化学物質の検出装置。

IPC (4件)：

H01J 49/10 , G01N 27/62 , G01N 27/62 ZAB , H01J 49/40

FI (4件)：

H01J 49/10 , G01N 27/62 K , G01N 27/62 ZAB V , H01J 49/40

Fターム (5件)：

5C038GG07 , 5C038GH10 , 5C038GH11 , 5C038GH13 , 5C038GH15

引用特許：

審査官引用 (4件)

化学物質の検出装置、及び、その濃度測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-141331 出願人：三菱重工業株式会社
質量分析装置および質量分装置におけるダイナミックレンジを改善する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-275111 出願人：ザパーキン-エルマーコーポレイション
静電シヤツターを有する飛行時間型質量分析装置と分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-223919 出願人：新日本製鐵株式会社, フアイゾンズピーエルシーサイエンテイフイツクエクイツプメントデイビジヨントレイデイングアスブイジーサイエンテイフイツク

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