X線撮像装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072628
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274524
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】電源線と他の配線との間で短絡やノイズが生じることがなく、高い歩留まりが得られる撮像装置を提供する。【解決手段】マトリックス状に形成され、それぞれ信号線と走査線とが配設された複数の画素と、前記各画素ごとに配設され、入射されたX線を電荷に変換する光電変換素子と、前記各画素ごとに配設され、前記光電変換素子により変換された電荷を蓄積する容量と、前記各容量に蓄積された電荷を読み出す電荷読み出し手段と、前記電荷読み出し手段の入力側に接続され、印加電圧が所定値以上になったときに前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を掃き出させる掃き出し手段と、を備えた撮像装置において、前記掃き出し手段の電荷を掃きださせる経路となる電源線と、前記走査線とを別々の層に配設した。

請求項（抜粋）：

光電変換膜と、マトリックス状に配設され、前記光電変換膜と接続された信号線と、前記光電変換膜と信号線との間を開閉するスイッチング素子と、前記スイッチング素子に駆動信号を送る走査線と、前記各光電変換膜に接続され、光電変換膜に蓄積された電荷が所定量以上になったときに過剰の電荷をバイアス線に流す保護用非線形素子と、前記走査線と前記バイアス線との間に介挿された絶縁層と、を具備することを特徴とする撮像装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-181155
X線平面検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-161977 出願人：株式会社東芝
固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-082637 出願人：富士ゼロックス株式会社

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