特許
J-GLOBAL ID：200903080264354683

III族窒化物の結晶成長装置

発明者：
庄子 浩義

庄子 浩義 について

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皿山 正二

皿山 正二 について

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岩田 浩和

岩田 浩和 について

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山根 久典

山根 久典 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-074213
公開番号（公開出願番号）：特開2005-263512
出願日： 2004年03月16日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 アルカリ金属蒸気もしくは窒素に曝される部分が、アルカリ金属蒸気もしくは窒化によって変質してしまうという事態が生じるのを有効に防止することの可能なIII族窒化物の結晶成長装置を提供する。【解決手段】 反応容器1内に設けられた融液保持容器2内に、アルカリ金属とIII族金属との混合融液3が収容されており、混合融液3をヒーター5によって加熱して、混合融液3中でIII族金属と窒素を反応させてIII族窒化物結晶を成長させるIII族窒化物の結晶成長装置であって、窒素ガスに曝される部分が耐窒化性を有する物質または窒化物で形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
反応容器内に設けられた融液保持容器内に、アルカリ金属とIII族金属との混合融液が収容されており、混合融液をヒーターによって加熱して、混合融液中でIII族金属と窒素を反応させてIII族窒化物結晶を成長させるIII族窒化物の結晶成長装置であって、窒素ガスに曝される部分が耐窒化性を有する物質または窒化物で形成されていることを特徴とするIII族窒化物の結晶成長装置。
IPC (2件)：
C30B29/38 ,  C30B11/06
FI (2件)：
C30B29/38 D ,  C30B11/06
Fターム (10件)：
4G077AA02 ,  4G077BE15 ,  4G077CD05 ,  4G077EG02 ,  4G077EG18 ,  4G077EG25 ,  4G077HA02 ,  4G077MB12 ,  4G077MB21 ,  4G077MB22
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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