特許
J-GLOBAL ID:200903080365617855
ワイヤーグリッド偏光子及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-330563
公開番号(公開出願番号):特開2008-145581
出願日: 2006年12月07日
公開日(公表日): 2008年06月26日
要約:
【課題】 高い透過率と偏光分離機能を有するワイヤーグリッド偏光子の金属細線部の倒壊を防ぎ、信頼性を向上させることにある。【解決手段】互いに平行な多数の直線状金属細線と直線状誘電体細線が配置されているワイヤーグリッド偏光子において、誘電体細線の両側壁の全面は、隣接する金属細線の一方の側壁と接しており、金属細線の2つの側壁の少なくとも一方は、前記誘電体細線と接しない領域を有していることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
所定の波長域の光を透過可能な基板と、
前記基板上に形成され、互いに平行に延在する複数の誘電体細線と、
前記誘電体細線間に形成され、前記複数の誘電体細線と平行に延在する複数の金属細線と、を備え、
前記誘電体細線は、前記所定の波長域の光を透過可能な誘電体からなり、
前記複数の各誘電体細線の両側壁の全面は、隣接する前記金属細線の一方の側壁と接しており、
前記金属細線の2つの側壁の少なくとも一方は、前記誘電体細線と接しない領域を有していることを特徴とするワイヤーグリッド偏光子。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B5/30
, G02F1/1335 510
Fターム (23件):
2H049BA02
, 2H049BA45
, 2H049BC08
, 2H049BC09
, 2H049BC22
, 2H091FA08
, 2H091FB02
, 2H091FB13
, 2H091FC02
, 2H091FC07
, 2H091FC26
, 2H091FD15
, 2H091LA30
, 2H191FA22X
, 2H191FA22Y
, 2H191FA22Z
, 2H191FB02
, 2H191FB23
, 2H191FC02
, 2H191FC07
, 2H191FC36
, 2H191FD35
, 2H191LA40
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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