特許
J-GLOBAL ID:200903080387423469

両面接着テープ、及びこれを用いた研磨材の固定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 幸久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-232243
公開番号(公開出願番号):特開2002-047462
出願日: 2000年07月31日
公開日(公表日): 2002年02月12日
要約:
【要約】【課題】 金属イオンが実質的に含まれておらず、研磨液及び洗浄水存在下での研磨材装着時においても位置決めし易く、良好に定盤に貼着でき、研磨中に研磨液に曝されても固定性が低下せず、研磨終了後も良好に剥離できる両面接着テープを得る。【解決手段】 両面接着テープは、基材の両面に粘着剤層を有する両面接着テープであって、少なくとも片面の粘着剤層が、ポリオールポリウレタン化合物を多官能イソシアネート化合物で架橋したポリウレタン系ポリマーを主成分とする粘着剤で構成されている。この両面接着テープのポリウレタン系ポリマーを主成分とする粘着剤層を研磨装置の定盤側に接着し、前記両面接着テープの他方の粘着剤層を研磨材側に接着することにより、研磨材を研磨装置の定盤に固定することができる。
請求項(抜粋):
基材の両面に粘着剤層を有する両面接着テープであって、少なくとも片面の粘着剤層が、ポリオールポリウレタン化合物を多官能イソシアネート化合物で架橋したポリウレタン系ポリマーを主成分とする粘着剤で構成されていることを特徴とする両面接着テープ。
IPC (3件):
C09J 7/02 ,  B32B 27/00 ,  B32B 27/40
FI (3件):
C09J 7/02 Z ,  B32B 27/00 M ,  B32B 27/40
Fターム (26件):
4F100AK42A ,  4F100AK51B ,  4F100AK51C ,  4F100AR00B ,  4F100AR00C ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100CA02B ,  4F100CA02C ,  4F100CB05B ,  4F100CB05C ,  4F100JL13B ,  4F100JL13C ,  4J004AA14 ,  4J004AB01 ,  4J004CA02 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB01 ,  4J004CB02 ,  4J004CB04 ,  4J004CC02 ,  4J004EA05 ,  4J004FA08
引用特許:
審査官引用 (21件)
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