特許
J-GLOBAL ID：200903080454775979

研磨方法

発明者：
佐藤 修三

佐藤 修三 について

, 
大鳥居 英

大鳥居 英 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-110789
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296610
出願日： 1997年04月28日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 高い平坦性が得られるとともに表面性を良好にし、しかも長期にわたって安定して加工能力を低下させることなく維持し連続加工性の大きい研磨方法を提供する。【解決手段】 被研磨材10の研磨面に対し、遊離砥粒15を供給しながら、固定砥粒13を保持する研磨ホイル11を回転および摺動させる研磨方法であって、前記研磨ホイル11は、軟質結合材12により固定砥粒13を結合したものである。
請求項（抜粋）：
被研磨材の研磨面に対し、遊離砥粒を供給しながら、固定砥粒を保持する研磨ホイルを回転および摺動させる研磨方法であって、前記研磨ホイルは、軟質結合材、気孔剤及び砥粒分散剤により固定砥粒を結合したものであることを特徴とする研磨方法。
IPC (2件)：
B24B 29/00 ,  B24D 3/28
FI (3件)：
B24B 29/00 M ,  B24B 29/00 N ,  B24D 3/28
引用特許：
審査官引用 (4件)
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