砥液供給装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-084785
公開番号（公開出願番号）：特開2000-280170
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】性状の安定した砥液を研磨部に継続的に供給し、定常的に良好な研磨を行なうことができる砥液供給装置を提供する。【解決手段】研磨ユニット12に砥液を供給する砥液供給装置10であって、所定の性状の砥液を貯留する砥液供給タンク18と、前記砥液供給タンクと前記研磨ユニットを連絡する砥液流通配管36と、前記砥液流通配管を流れる砥液の性状を検知する砥液性状センサ52,54,56,58と、前記センサの出力に基づいて前記砥液供給タンク又は前記砥液流通配管内の砥液の性状を所定の許容範囲内に維持する工程を行なう砥液性状安定化手段94a,94b,100,102とを有する。

請求項（抜粋）：

研磨ユニットに砥液を供給する砥液供給装置であって、所定の性状の砥液を貯留する砥液供給タンクと、前記砥液供給タンクと前記研磨ユニットを連絡する砥液流通配管と、前記砥液流通配管を流れる砥液の性状を検知する砥液性状センサと、前記センサの出力に基づいて前記砥液供給タンク又は前記砥液流通配管内の砥液の性状を所定の許容範囲内に維持する工程を行なう砥液性状安定化手段とを有することを特徴とする砥液供給装置。

IPC (4件)：

B24B 57/02 , B24B 37/00 , H01L 21/304 622 , H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 57/02 , B24B 37/00 K , H01L 21/304 622 E , H01L 21/304 622 R

Fターム (7件)：

3C047GG15 , 3C058AA07 , 3C058AC04 , 3C058BA09 , 3C058BB01 , 3C058BC03 , 3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-257627
ウェーハ研磨中の珪素除去速度を安定化する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-351064 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
研磨用水性分散体の製造方法と製造システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-074628 出願人：株式会社東芝, ジェイエスアール株式会社

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審査官引用 (2件)

特開平2-257627
ウェーハ研磨中の珪素除去速度を安定化する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-351064 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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