特許

J-GLOBAL ID：200903080866246857

セラミックスヒーター

発明者： 夏原 益宏 ,  仲田 博彦
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-212365
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054245
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 安価な構造であり、流体を介し被加熱体を高速加熱できかつ高速均熱化の可能なセラミックスヒーターを提供する。【解決手段】 電気絶縁性のセラミックス基板上に発熱体を具備たセラミックスヒーターであり、その伝熱面によって直接加熱される被加熱体が流体であり、その伝熱面の表面粗さがRaで0.3μm以上のものであり、さらには同表面粗さがRaで2μmを越えるものである。

請求項（抜粋）：

電気絶縁性のセラミックス製基板上に発熱体を具備してなるセラミックスヒーターであって、当該セラミックスヒーターの伝熱面によって直接加熱される被加熱体が流体であり、当該セラミックスヒーターの伝熱面の表面粗さがRaで0.3μm以上であることを特徴とするセラミックスヒーター。

IPC (4件)：

H05B 3/16 ,  H05B 3/14 ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/46

FI (4件)：

H05B 3/16 ,  H05B 3/14 B ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/46

引用特許：

審査官引用 (15件)

• 特開昭58-140550
  
• 特開平4-032184
  
• 遠赤外線放射体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-031089   出願人：株式会社フジクラ, スカイアルミニウム株式会社
• 特開昭62-229782
  
• セラミックスヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-341192   出願人：川崎製鉄株式会社
• 特開昭58-140550
  
• 特開平4-032184
  
• 特開昭62-229782
  
• ヒーターおよびそれを備えた加熱定着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-284999   出願人：住友電気工業株式会社
• 複層セラミックスヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-312899   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チャック付セラミックスヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-316374   出願人：信越化学工業株式会社, 東京エレクトロン株式会社
• 特開昭58-140550
  
• 特開平4-032184
  
• 特開昭62-229782
  
• セラミック発熱体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-009346   出願人：京セラ株式会社