特許

J-GLOBAL ID：200903080976555588

サセプタ

発明者： 小林 文弥
出願人/特許権者： 株式会社ブリヂストン
代理人 (6件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-039218
公開番号（公開出願番号）：特開2006-228883
出願日： 2005年02月16日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：

【課題】ウェハを所定の位置に固定できるサセプタを提供する。【解決手段】ウェハが載置されるベースプレート1と、上記ベースプレート1に着脱自在に取り付けられ、上記ベースプレート1に取り付けた際にウェハを収容する凹状のウェハポケット21a〜21fを形成し、上記ウェハポケット21a〜21fの開口径が上記ウェハポケット21a〜21fの底部から開口部に向けて縮小するように上記ウェハポケット21a〜21fの側面にテーパ部22aが設けられたリングプレート2と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェハが載置されるベースプレートと、 前記ベースプレートに着脱自在に取り付けられ、前記ベースプレートに取り付けた際にウェハを収容する凹状のウェハポケットを形成し、前記ウェハポケットの開口径が前記ウェハポケットの底部から開口部に向けて縮小するように前記ウェハポケットの側面にテーパ部が設けられたリングプレートと、 を有することを特徴とするサセプタ。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ,  C23C 16/458 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L21/68 N ,  C23C16/458 ,  H01L21/205

Fターム (18件)：

4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030GA02 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA25 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031HA42 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F045AA03 ,  5F045DP15 ,  5F045EM03 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 薄膜成長用サセプタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-105301   出願人：川崎製鉄株式会社
• クランプリング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-130232   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 炭化ケイ素焼結体及び電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-315544   出願人：株式会社ブリヂストン
• ウェハ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-255162   出願人：株式会社ブリヂストン

審査官引用 (3件)

• クランプリング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-130232   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 炭化ケイ素焼結体及び電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-315544   出願人：株式会社ブリヂストン
• ウェハ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-255162   出願人：株式会社ブリヂストン