特許
J-GLOBAL ID：200903080984869788

微小電気機械式装置及びその作製方法

発明者：
土屋 薫

土屋 薫 について

, 
溝口 隆文

溝口 隆文 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-289682
公開番号（公開出願番号）：特開2009-137004
出願日： 2008年11月12日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：
【課題】可動部を有する微小電気機械式装置(MEMS)の機械的強度を向上させ、歩留まり及び信頼性を向上させる。【解決手段】可動部を有する微小電気機械式装置(MEMS)において、従来では中空部であった部分に充填用材料を充填する。充填用材料としては、弾性を有する絶縁性材料を用いる。弾性を有する絶縁性材料は、例えばエラストマーが挙げられる。中空部が充填されることで、機械的強度が向上する。更には、作製工程中における構造体上部の反りを防止し、歩留まりが向上する。このようにして作製された微小電気機械式装置は、信頼性の高いものとなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
微小構造体を有する微小電気機械式装置であって、 前記微小構造体は、絶縁表面上に設けられた下部電極層と、該下部電極層上に設けられた充填材料層と、該充填材料層上に設けられた前記下部電極層と対向する上部電極層と、該上部電極層上に設けられた構造層と、を有し、 前記構造層は、前記下部電極層に向かう方向又は前記下部電極層から遠ざかる方向に可動する構造を有し、 前記充填材料層は、弾性を有する絶縁性材料であることを特徴とする微小電気機械式装置。
IPC (6件)：
B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01L 9/00 ,  G01D 5/16 ,  G01B 7/16 ,  H01L 29/84
FI (7件)：
B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01L9/00 305B ,  G01D5/16 S ,  G01B7/16 R ,  H01L29/84 B ,  H01L29/84 Z
Fターム (53件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD04 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F063AA25 ,  2F063CA28 ,  2F063CA29 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063EC03 ,  2F063EC06 ,  2F063EC13 ,  2F063EC14 ,  2F063EC15 ,  2F063EC26 ,  2F063LA27 ,  2F077AA42 ,  2F077EE07 ,  2F077VV01 ,  2F077VV33 ,  3C081AA02 ,  3C081AA07 ,  3C081AA19 ,  3C081BA22 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA58 ,  3C081CA14 ,  3C081CA31 ,  3C081DA31 ,  3C081EA03 ,  3C081EA11 ,  3C081EA21 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA07 ,  4M112CA11 ,  4M112DA02 ,  4M112DA06 ,  4M112DA09 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA14 ,  4M112FA07 ,  4M112GA03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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