特許
J-GLOBAL ID：200903081007961320
周期性パターンの検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289452
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108628
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 周期性パターンの不均一性を迅速且つ高精度に検査可能にする。【解決手段】 周期性パターンを有する対象物をエリアセンサカメラで撮像し、得られた画像を基に周期性パターンの不均一性に起因する色ムラ欠陥を検査する際、前記エリアセンサカメラの光学系を、前記対象物の表面で目標寸法にピントが合う第1フォーカスFaに設定して、該カメラにより第1製品画像Iaを撮像し、前記光学系を、第1フォーカスFaより短い第2フォーカスFbに設定して、同カメラにより第2製品画像Ibを撮像し、前記第1製品画像Iaから前記第2製品画像Ibを減算して強調画像Ieを作成し、前記第2製品画像を2値化して作成したマスク画像により前記強調画像をマスクしてマスク済強調画像Imeを作成し、該マスク済強調画像に基づいて前記目標寸法に対応する大きさの色ムラ欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
周期性パターンを有する対象物をエリアセンサカメラで撮像し、得られた画像を基に周期性パターンの不均一性に起因する色ムラ欠陥を検査する周期性パターンの検査方法において、前記エリアセンサカメラの光学系を、前記対象物の表面で目標寸法にピントが合う第1フォーカスに設定して、該カメラにより第1製品画像を撮像し、前記光学系を、第1フォーカスより短い第2フォーカスに設定して、同カメラにより第2製品画像を撮像し、前記第1製品画像から前記第2製品画像を減算して強調画像を作成し、該強調画像に基づいて前記目標寸法に対応する大きさの色ムラ欠陥を検出することを特徴とする周期性パターンの検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, H01J 9/42
, G01B 11/24
G01N 21/88 Z
, H01J 9/42 A
, G01B 11/24 F
2F065AA49
, 2F065AA51
, 2F065BB02
, 2F065BB18
, 2F065CC25
, 2F065DD06
, 2F065FF02
, 2F065GG15
, 2F065HH02
, 2F065HH13
, 2F065HH15
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL49
, 2F065PP11
, 2F065QQ00
, 2F065QQ04
, 2F065QQ14
, 2F065QQ21
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ32
, 2F065QQ33
, 2F065QQ37
, 2F065RR05
, 2G051AA90
, 2G051AB20
, 2G051AC04
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051ED08
, 2G051ED14
, 5C012AA02
, 5C012BE03
