液晶パネルの外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-243660
公開番号（公開出願番号）：特開2006-064387
出願日： 2004年08月24日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：

【課題】照明条件をさまざまに変えることによって液晶パネルの傷やごみを確実に撮影できるようにする。また,パネル反転装置を工夫することによって,搬送装置を1台で済ませるとともに,反転作業の間にも搬送装置を利用できるようにする。【解決手段】搬送装置16を用いて液晶パネル36をプリアライメメント部12から検査部14に搬送する。検査位置にある液晶パネル36に照明装置から光を照射して撮像装置98で撮影する。照明装置としては,撮像方向に平行な方向から光を照射する同軸照明装置88と,撮像方向に対して傾斜した方向から光を照射する斜光照明装置90と,液晶パネルの背面から光を照射するバックライト装置84がある。液晶パネルの四つの側面の映像は,反射ミラー62を介して撮影できる。搬送装置16とは独立した反転装置60を用いて液晶パネル36を反転させることができ,液晶パネル36の両面の撮影が可能になる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

次の構成を備える液晶パネルの外観検査装置。 (ア)矩形の液晶パネルを検査前に位置決めするプリアライメメント装置。 (イ)前記液晶パネルを検査位置で支持する検査台。 (ウ)前記プリアライメント装置から前記検査台へと前記液晶パネルを搬送する搬送装置。 (エ)前記検査位置にある液晶パネルを,前記液晶パネルの法線に平行な方向から撮像する撮像装置。 (オ)前記撮像装置の撮像方向に実質的に平行な方向から前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する同軸照明装置。 (カ)前記撮像方向に対して傾斜した四つの方向であって前記液晶パネルの四つの辺に対応する四つの方向から,前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する斜光照明装置。 (キ)前記検査位置にある液晶パネルにその背面から光を照射するバックライト装置。 (ク)前記検査位置にある液晶パネルの四つの側面に対向して配置された四つの反射ミラーであって,前記側面からの光を前記撮像装置の方向に反射する反射ミラー。 (ケ)前記検査位置の上方で前記液晶パネルを受け取ることができて,その液晶パネルを反転させることができる反転装置であって,前記搬送装置とは独立した反転装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 , G02F 1/13

FI (2件)：

G01M11/00 T , G02F1/13 101

Fターム (7件)：

2G086EE10 , 2H088FA12 , 2H088FA13 , 2H088FA17 , 2H088FA30 , 2H088MA04 , 2H088MA20

引用特許：

出願人引用 (10件)

液晶パネルの検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-048550 出願人：株式会社日本マイクロニクス
表示装置の検査装置および検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-080067 出願人：シャープ株式会社
特開平4-218743

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審査官引用 (10件)

表示装置の検査装置および検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-080067 出願人：シャープ株式会社
特開平4-218743
特開平4-218743

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