特許
J-GLOBAL ID：200903081112659582
大型高品質酸化物単結晶育成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-365912
公開番号（公開出願番号）：特開2003-171199
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月17日
要約：
【要約】【課題】二重るつぼ法に基づき3インチ以上の大口径ニオブ酸リチウム単結晶又はタンタル酸リチウム単結晶を得ようとすると、インクルージョンが混入してくるという困難に直面した。本発明は、大口径化を図ると共にインクルージョンが混入することのない前記単結晶を製造し、確保する手段を提供しようというものである。【解決手段】その解決手段として、二重るつぼ法に基づく前記単結晶育成技術に、るつぼの回転数、回転方向を変化させる、いわゆるるつぼ加速回転法(ACRT;accerelated crucible rotation technique)を適用し、これによってるつぼの動作を制御し、撹拌効果を高め、気泡等のインクルージョンのない大口径ニオブ酸リチウム単結晶又はタンタル酸リチウム単結晶を得ることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
二重るつぼ法によって、リチウム濃度が50%よりも過剰な融液からニオブ酸リチウム単結晶又はタンタル酸リチウム単結晶を成長させるニオブ酸リチウム単結晶又はタンタル酸リチウム単結晶の製造方法において、二重るつぼの外るつぼに育成した結晶重量分だけ原料供給を行いながら、なおかつるつぼの回転数、回転方向を変化させる、いわゆるるつぼ加速回転法(ACRT:accerelated crucible rotation technique)により、攪拌効果を高め、気泡等のインクルージョンのない大口径単結晶を得ることを特徴とした大口径ニオブ酸リチウム単結晶又はタンタル酸リチウム単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C30B 29/30 A
, C30B 29/30 B
, C30B 15/00 Z
4G077AA02
, 4G077BC32
, 4G077BC37
, 4G077CF10
, 4G077EH08
, 4G077PA08
