光学結像システムの収差を検出する方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：沢田雅男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334220
公開番号（公開出願番号）：特開2002-208561
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：

【要約】【課題】従来とは異なった原理に基づき、かつ各種の収差を互いに独立に測定することができる型の光学結像システムの収差を検出する方法を提供すること。【解決手段】結像システム(PL)の収差は、結像システムによってフォトレジスト(PR)に円形の位相構造(22)を結像させ、レジストを現像し、かつイメージプロセッサ(IP)に結合している走査検出デバイス(SEM)によりそれを走査して、正確でかつ信頼できる方法により、検出することができる。円形の位相構造は、リング構造(25)に結像され、そしてコマ収差、非点収差、三点収差などのようないくつかの可能性のある収差の各々は、リングの内側の輪郭(CI)と外側の輪郭(CE)の形状に特定変化を起こす。その結果、収差を、互いに独立して検出することが出来る。収差の各型は、各々が、より高いまたはより低いオーダの副収差を表す特定フーリエ調波(Z-)によって表される。この新規な方法により、これらの収差を決定することが可能になる。この新規な方法は、リソグラフィック投影装置のための投影システムを測定するために使用することができる。

請求項（抜粋）：

光学結像システムの収差を検出する方法であって、- 前記システムのオブジェクト面にテストオブジェクトを配置するステップ、- 前記システムのイメージ面にフォトレジスト層を設けるステップ、- 前記システムと結像ビームによって前記テストオブジェクトを結像させるステップ、- 前記フォトレジスト層を現像させるステップ、- 前記結像システムの解像度よりもかなり大きい解像度を有する走査検出デバイスによって前記現像されたイメージを検出するステップ- 前記一つの図形前記像の形状変化の少なくとも一つの異なる型を確認するために、前記観測された像にフーリエ解析を行うステップであって、形状変化の各型が、各項で重み係数が先行するある数のゼルニケ多項式の組合せであるフーリエ調波によって表される収差の所定の種類を示し、前記ゼルニケ係数の前記測定が、- 前記照射パラメータのうちの少なくとも1つを、決定されるべきゼルニケ多項式の数に少なくとも等しい、異なる値の数に逐次設定するステップ、- 当該異なる値の各々に対し同じフーリエ調波を測定するステップ、そして- 前記当該フーリエ調波に対して前記測定された値からそして以前に実行されたシミュレーションプログラムによって得られた格納された重み係数によって前記ゼルニケ係数を計算するステップによって実行される、ステップ、を有する光学結像システムの収差を検出する方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G01M 11/02 , G02B 3/00 , G03F 7/22

FI (4件)：

G01M 11/02 B , G02B 3/00 Z , G03F 7/22 H , H01L 21/30 516 A

Fターム (7件)：

2G086HH06 , 5F046AA25 , 5F046BA03 , 5F046BA05 , 5F046CB17 , 5F046DA13 , 5F046DD06

引用特許：

審査官引用 (6件)

波面収差測定器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-022635 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-158735
ホトマスク及びそれを用いたコマ収差測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-204176 出願人：株式会社日立製作所

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